FFU空氣過濾（lǜ）器主要有以下幾點優點：
1.節約空間——利（lì）用FFU風機過濾單元（yuán）可以有效的節省（shěng）空間，解決潔淨室吊頂頂端維修空間狹小的問題。
由於高級別的潔（jié）淨廠房需要百級甚至十級層流罩來解決工藝需求，潔淨室的吊頂的上部將設立一個個巨大的送風靜壓箱，靜壓箱內設立通風機，這（zhè）些靜壓箱連同送風管、回風管從而會占據很大的空間，使得維修空間變得狹小，有時甚至影響消防通道的使用。
當我們使用FFU時，潔淨室的（de）吊頂（dǐng）將會被分為若幹模塊，每個模塊就是（shì）一個（gè）FFU，這樣我們可以通過調節每個（gè）模塊來滿足吊（diào）頂上（shàng）部送風靜壓箱的壓力平衡的要求，從而（ér）大大（dà）降低了對該靜壓箱高度的要（yào）求。同時可以省去巨大的送風（fēng）管、回風管，所以可以節省安裝空間。特別（bié）是（shì）在改造工程受到層高限製時，FFU可以有效的（de）解決這一問（wèn）題。
而且FFU尺寸多（duō）樣，可根據潔淨室的實際大小（xiǎo）來定製，且正因為這（zhè）個（gè）原因，其占用送風靜壓箱內較少的層高，甚至基本（běn）上不（bú）占用潔淨室內空間，所以能夠更好（hǎo）地節省空間。
2.FFU靈活性——利用FFU獨立性的結構特點，可隨時調（diào）整，彌補潔淨室機動性（xìng）能不足，從而解決（jué）了生產工藝不宜調整的（de）缺點。
潔淨室廠房的維護結構一般為金屬性板製作，一般建成（chéng）後，布局不能隨意改動，但由於生產工（gōng）藝的不（bú）斷更新，使得原有的（de）廠房潔淨度布局不能滿足新工藝（yì）的需求，導致潔淨室由於產品換代需要頻繁的改（gǎi）動，大量（liàng）浪費財力、物力。
如果通過增減FFU數量的方（fāng）法，就可以局部調整房（fáng）間的潔淨度布局，用以滿足工（gōng）藝的改動，而且FFU自帶動力、風口、燈具，從（cóng）而可以節省大量的投資。這對於通（tōng）常集中送風的淨化係（xì）統來說幾乎是（shì）不可能達到同樣效（xiào）果的。
因為（wéi）FFU是自（zì）帶動力的，它不受區域的限製（zhì）。在一個偌大的潔淨廠房裏，可根（gēn）據需要，分區控（kòng）製。而且，隨（suí）著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得（dé）這樣的調（diào）整變得輕鬆，而且不會帶來二（èr）次投資。
3.減少運行成本——FFU係統節能顯著，從而解決了空調（diào）機房龐（páng）大（dà）、空調機組運行費用增高（gāo）的集中送風的缺點。
如果麵積較大的潔淨室廠房的個別潔淨間（jiān）有較高的潔淨級別的（de）需（xū）求，那麽集中送風的空調機組風量較大，風機壓頭較（jiào）高，才能克服風管管道的阻力以及初效過（guò）濾器，中效過濾器，高效過濾器的阻力（lì），才能（néng）滿足需求。而且（qiě）集中送風係統隻要空調機出現故障，就會造成這台空調機所涉及的全部潔淨室停止運行。
雖然在前期（qī）選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在後期運行中，突出的表（biǎo）現出節能、免維護等特（tè）點，使得FFU更受歡（huān）迎。
4.負壓密封
這是（shì）FFU的獨特特點。由（yóu）於它本身能夠提供靜壓，使（shǐ）得送風靜壓箱（xiāng）相對於（yú）潔淨廠房負壓。因此即使風口安裝存在泄漏，也是潔淨室向靜壓箱泄漏，不會形成對潔淨室的汙染。使得（dé）密封變得很簡單而且安全。
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